合易科技新一代检测设备,为Mini LED产业量产打下稳固的基础

来源: 【合易科技官网】 人气:375 发表时间:2022/06/08 16:10:39

近年来,随着我国半导体制造业的快速发展,光刻工艺复杂程度不断提高,对集成电路制造阶段的晶圆缺陷检测要求也越来越高。


集成电路生产加工需通过薄膜沉积、蚀刻、抛光、减薄、划切和倒装等诸多复杂的工序,作业过程中任何不正确的操作都有可能引起晶圆表面产生缺陷。为了防止有缺陷的晶片流入后道封装环节,需要借助光学检测设备识别晶圆表面缺陷并分类、标记,辅助晶片完成后期的去晶和修补。


合易科技新一代检测设备,为Mini LED产业量产打下稳固的基础


此外,Mini LED相较于传统LED,显示效果更加细腻、亮度更高,但是所使用芯片颗粒、间距则更小了,意味着基板单位面积内芯片数量越多,封装难度就越大。这给晶圆检测设备带来不小的挑战。


然而,对传统晶圆表面缺陷的检测主要以人工目检为主,通过使用电子显微镜采集样本图片,再交由专业人员进行评定是否存在缺陷。这种方式容易出现检测效率低,精度不纯,无法满足Mini LED芯片小间距的检测要求,也会产生漏检、误检等情况,带入新的污染源。有时在作业过程中还会反复检测,严重影响进度。


为了提高晶圆缺陷检测速度与可靠性,实现晶圆缺陷在线视觉检测,提高产品的良率,作为国内领先水平的电子装配自动化设备研发、生产、销售的高新企业——合易科技,改变传统检测方式,创新推出了一套在线检测晶圆表面缺陷的智能化解决方案,主要以在线外观检测机和在线点亮检测机为主,是整套Mini LED智能检测修补解决方案最关键的一环。


Mini LED检测设备


合易科技这套Mini LED检测设备全程实现自动化操作,具有处理速度快、操作简单高效等优点。基板晶圆通过外观与点亮两种检测机,确定其中不良晶圆的行列位置信息并做好标记。无论是背光还是直显,合易科技的外观检测机和点亮检测机均可检测,并且检出率高、误报率低,为后续的晶圆去除机和激光焊接机奠定基础。


01在线外观检测机


①采用大理石平台及直线电机,保证机器运行精度;

②运用专业特制的相机、光学镜头、光源等设备,确保被测晶圆外观的清晰度;

③借助轮廓运算、灰阶运算、图像对比等检测手段,找出基板上存在如芯片受损、偏移、缺件等问题,做好标记后传送至下位机中;


Mini LED检测设备


02在线点亮检测机


①运用专业特制的相机、光学镜头等设备,确保被测晶圆的清晰度;

②点亮控制器对接产品,控制测试所需的晶圆;

③检测晶体是否被点亮并将不良晶圆所处的行列位置传输到下位机中;


Mini LED检测设备


在线点亮检测机


合易科技Mini LED检测设备的特点

1.无需人工操作,全程自动化检测;

2.优良的光学设备和先进的处理技术能快速侦测、分类、显示有瑕疵的晶圆;

3.提高检测效率和精度,降低误报率;

4.降本增效,提高利润空间;


致力于做客户心中想要的自动化,合易科技攻坚克难,不断应用先进技术与工艺解决行业存在的痛点。推出的Mini LED检测设备改变传统检测方式,为封装制程最后环节助力,为Mini LED的量产打下更加稳固的基础。


合易科技新一代检测设备,为Mini LED产业量产打下稳固的基础